真空泵在使用過程中,主要是通過物理、機械、物理化學方法對被抽容器進行有效排氣,以獲得真空的裝置或設備。一般來說,真空泵是在一個封閉的空間內,利用各種方法提高、產生和維持真空的裝置。真空泵在工作過程中可以有效分為兩種,即氣體捕獲泵和氣體傳輸泵。廣泛應用于冶金、化工、食品、電子涂料等行業。
真空泵在發展的過程中,它的抽氣速度基本是從每秒零點幾升到每秒幾十萬、上百萬升。隨著真空技術在生產和科研領域對其應用壓力范圍的要求越來越高,大多需要幾個真空泵級真空抽氣系統一起抽氣才能滿足生產和科研的要求。由于真空應用部門涉及的工作壓力范圍很廣,任何類型的真空泵都不可能完全適用于所有的工作壓力范圍,所以只能根據不同的工作壓力范圍和不同的工作要求使用不同類型的真空泵。
真空泵在一定程度上,為了使用方便,滿足各種真空工藝的需要,各種真空泵有時會根據其性能要求進行組合,以單元的形式應用。常用的真空泵泵有干式螺桿真空泵、水環泵、往復泵、滑閥泵、旋片泵、羅茨泵和擴散泵等。這些泵是我國國民經濟各行業應用真空技術必不可少的主泵。