真空泵是一種真空獲取裝置，可以用物理、化學或機械的方法從容器中抽出空氣，以獲得和改善真空環境。真空泵有很多種，在國內很多工業領域都有應用。本文重點介紹了真空泵的分類，幾種常見真空泵的性能和優缺點，并分析了我國真空泵產品的發展趨勢。

真空的含義

17世紀，意大利物理學家托里拆利揭示了“真空”的存在。真空是指給定空間內氣體壓力低于一個大氣壓的氣體狀態。沒有完全氣體的狀態叫做絕對真空。一般來說，我們指的是相對真空，也就是說，在所能達到的最低壓力下，每立方米氣體中仍有幾個氣體分子。

在真空技術中，通常用“真空度”和“壓力”來表示真空度。空間壓力越低，真空度越高，壓力越高，真空度越低。根據各壓力范圍內物理特性的不同，真空一般分為粗真空、低真空、高真空和超高真空。

真空泵的分類及其發展趨勢:真空泵的分類

進入20世紀以來，真空技術不斷發展，真空設備的種類越來越多，應用領域也逐漸擴大。根據真空泵的工作原理，可分為輸氣泵和集氣泵兩種基本類型。氣泵主要是不斷地吸入和排出空氣，以達到抽氣的目的。氣體捕獲泵通過允許氣體分子被吸附或冷凝在泵的內表面上來減少容器中氣體分子的數量。

真空泵的分類及發展趨勢

幾種常見的工業真空泵及其發展趨勢

水環真空泵是一種可變排量泵，它可以清除易燃、易爆和腐蝕性氣體，以及含有灰塵和水分的氣體。真空泵具有結構簡單、易于維護、磨損小、安全性高、對輸送氣體無污染等優點，但也有效率低、真空度低(真空差)的缺點。水泵的主要原材料是鑄件，加工容易，勞動強度大。所以國產比進口泵更有價格優勢，目前被廣泛使用。目前國內液環泵生產廠家主要應從減重、體積、能耗、效率等方面改進產品。

旋片真空泵是最基本的真空獲取設備之一。是一種油封式機械真空泵，適用于真空包裝、真空成型、真空抽氣等封閉系統的抽氣。但不能用于去除含氧量高、對金屬有腐蝕性、與泵油有化學反應和顆粒粉塵的氣體，也不能去除水或其他液體。旋片真空泵具有體積小、重量輕、噪音低等優點。，并能獲得高真空度。國產旋片泵已達到技術標準，價格遠低于進口泵，具有一定的競爭優勢。目前旋片真空泵需要解決的主要問題是旋片材料、軸封漏油等。以及能去除水汽的旋片真空泵的開發。

滑閥真空泵屬于油封變容真空泵，可用于抽一般氣體或含少量冷凝液。與旋片真空泵相比，滑閥真空泵具有能在高壓(104 Pa)下工作、泵送能力大、能在惡劣工況下使用、經久耐用等優點。主要用于真空精煉、真空干燥、真空浸漬、真空蒸餾等。泵滑閥鑄件重，加工工作量大，所以國外很多廠家希望和國內真空泵企業合作。為了加快進口替代，國產滑閥泵需要在降低振動噪聲、防止噴油和漏油等方面對產品進行優化。

Roots 真空泵具有啟動快、功耗低、泵速高的優點。它能抽出含有水蒸氣和灰塵的氣體，并能迅速抽出突然釋放的氣體。使用羅茨泵可以減少泵送時間，提高生產效率。目前，國產羅茨泵的市場份額小于進口產品。為了搶占國內市場，進入國際市場，國內企業需要通過降低振動噪聲、解決軸封漏油、提高泵的平穩性和清潔度來改進國內產品。

干螺真空泵是一種新型真空采集設備，具有可靠性高、壽命長、動平衡好、適應性強、多相混合輸送等特點。它可以去除腐蝕性、有毒、含塵氣體、可冷凝蒸汽和其他氣體。干式泵被廣泛使用。代表行業有半導體行業、化工行業、電影行業等。這三個行業的需求是干式泵市場的主要驅動力。美國和歐洲大約一半的半導體行業使用干式真空泵代替油封機械泵。目前國內干式真空泵很少使用，市場份額不到1%。中國半導體行業主要使用進口干泵。因此，應加強國內干式真空泵的研發，使干式真空泵成為中國真空產業新的經濟增長點。

結論

經過長期的發展，真空泵已經有了很多類型和應用領域。每一類真空泵都有不同的優秀特質和表現。用戶應根據各自的工作條件、真空要求等因素考慮如何選擇真空泵。目前，我國真空行業應重視國內真空泵產品的升級，搶占更多國內市場，進軍國際市場。