1.真空泵工作時產生的振動對工藝流程和環境有影響嗎？如果工藝不允許，應選擇無振動泵或采取防振措施。

2.了解泵送氣體的成分，氣體中是否含有可凝蒸汽、顆粒粉塵、腐蝕性等。選擇真空泵時，需要了解氣體成分，為泵送的氣體選擇相應的泵。如果氣體中含有蒸汽、顆粒和腐蝕性氣體，應考慮在泵的入口管道上安裝輔助設備，如冷凝器和除塵器。

3.在其工作壓力下，真空泵應能排出真空設備過程中產生的所有氣體。

4.正確組合真空泵。由于真空泵的選擇性泵送，有時一臺泵無法滿足泵送要求，需要幾臺泵組合起來，相互補充才能滿足泵送要求。

比如鈦升華泵對氫氣有很高的抽速，但不能抽氦氣，而三極濺射離子泵(或兩極不對稱陰極濺射離子泵)對氬氣有一定的抽速。如果將兩種泵組合起來，真空裝置將獲得更好的真空度。

另外，有些真空泵不能在大氣壓下工作，需要預真空；有些真空泵出口壓力低于大氣壓，所以需要前級泵，所以需要所有泵組合使用。

5.真空設備對油污的要求。如果設備嚴格無油，則應選用各種無油泵，如水環泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴格，可以選用油泵，以及一些防油污措施，如加裝冷阱、擋板、集油器等。，也能滿足潔凈真空的要求。

6.正確選擇真空泵的工作點。每個泵都有一定的工作壓力范圍。所以泵的工作點要選在這個范圍內，不能長時間在25~30mmHg下工作。

7.真空泵排出的油氣如何影響環境？如果不允許污染環境，可以選擇無油真空泵，或者將油蒸氣排到室外。

8.真空泵的工作壓力應滿足極端真空和真空設備工作壓力的要求。例如，真空干燥過程需要10mmHg的工作真空，真空泵的選定極限真空應該至少為2mmHg，優選高達1mmHg。通常，泵的極限真空度選擇為比真空設備的工作真空度高半個到一個數量級。

9.真空泵的價格、運轉及維修費用。